打破ASML光刻机双工件台技术垄断!华卓精科拟登陆科创板

打破ASML光刻机双工件台技术垄断!华卓精科拟登陆科创板
近年来,跟着国家的大力支持以及国内商场需求的快速增加,国产半导体工业开展迅猛,而在要害的国产半导体设备范畴也有了不小的前进。 比如在硅刻蚀机范畴,北方华创完结了14nm设备的打破,一起也在上一年完结了适用于8英寸晶圆的金属刻蚀机的研制和出产。现已登录科创板的中微半导体自主研制的5nm等离子体刻蚀机经台积电验证,功能优秀,将用于全球首条5nm制程出产线。 可是在晶圆制作环节更为要害的光刻机范畴,却仍与国外有着巨大的距离。现在荷兰的ASML是全球最大的光刻机制作商,占有了全球光刻机商场(按出售计)的近90%的商场份额,尤其是在高端的极紫外光(EUV)范畴,ASML处于彻底独占位置,其一台EUV光刻机价格高达1亿欧元。而EUV光刻机则是完结5nm乃至是更为先进的制程工艺的要害。 近来,北京证监局披露了“北京华卓精科科技股份有限公司”(以下简称“华卓精科”)的第三期教导作业报告,该公司拟登陆科创板。而依据华卓精科官网显现,其出产的光刻机双工件台,打破了ASML公司在光刻机工件台上的技能上的独占,成为世界上第二家把握双工件台中心技能的公司。 双工件台:光刻机两大中心技能之一 光刻机是制作大规划集成电路的中心配备。为将规划图形制作到硅片上,并在一颗芯片上集成数十亿、乃至上百亿的晶体管,光刻机需到达十几纳米乃至几纳米的更高的图画分辨率。 而光刻机功能的两大中心部件:一个是EUV曝光体系,另一个是双工件台。 在EUV曝光体系方面,我国现在还比较落后,首要是中科院长春光机所在研讨。2002年,就研制国内榜首套EUV光刻原理设备,完结了EUV光刻的原理性贯穿。2008年国家极大规划集成电路制作配备及成套工艺科技严重专项将EUV光刻技能列为32-22nm配备技能前瞻性研讨 重要攻关使命。长春光机所作为牵头单位承当起了极紫外光刻要害技能研讨项目研讨作业。历经八年的艰苦奋战,2017年,长春光机所的32nm线宽的EUV光刻曝光体系于经过了严重专项项目组专家的检验。 尽管该EUV光刻曝光体系与世界先进水平仍有不小的距离,可是从国产化视点来看,能够说是一个严重打破。 而光刻机另一大中心部件之一的工件台,在高速运动下需到达2nm(相当于头发丝直径的三万分之一)的运动精度,它的定位精度直接影响了 光刻出来的硅片的质量。 这也奠定了光刻机超精细工件台技能在超精细机械制作与操控范畴的最顶级位置,被称为超精细技能皇冠上的明珠。 在2000年前,光刻设备只要一个工件台,晶圆片的对准与曝光流程都在上面完结。直到2001年,ASML推出了Twinscan双工件台体系,使得光刻机能在一个工件台进行曝光晶圆片,一起在别的一个作业台进行预对准作业,并在榜首时刻得到成果反应,出产功率进步大约35%,精度进步10%以上。而随近年来技能的继续改善,双工件台的功率得到了继续的提高。 有材料显现,现在单工件台的光刻机的出产速度只要每小时80片,而双工件台,它的出产速度则能够高达每小时270片~300片。 尽管,比较单工件台体系来说,双工件台体系尽管仅是加一个工件台,但技能难度却不容小觑,对工件台搬运速度和精度有十分高的要求。此前仅有荷兰ASML一家独占,直到2016年,才被我国打破。 打破ASML独占,国产双工件台体系诞生 2016年4月28日,由清华大学机械工程系朱煜教授担任负责人的研制团队历经5年时刻研制的光刻机双工件台体系样机成功经过了国家科技严重专项“极大规划集成电路制作配备及成套工艺”(简称02专项)施行办理办公室的项目检验。 ▲光刻机双工件台样机(图片来历:清华大学) 依据其时的报导显现,环绕双工件台体系的研制,该项目组“完结专利申请231项(其我世界发明专利41项),已取得授权122项;培养了一支近200人的研制团队,树立了高水平研制渠道,为后续产品研制和工业化打下了坚实的根底。” 而此次预备在科创板上市的华卓精科的团队正是清华大学机械工程系朱煜教授领导的光刻机双工件台体系研讨团队。 依据华卓精科官网材料显现,公司树立时刻为2012年5月9日,由清华IC配备团队在清华大学及其部属“北京-清华工业技能研讨院”和02专项的支持下创建,是一家肩负着专项严重科研成果工业化重担的高新技能企业。公司树立初衷在于将清华大学在02专项中堆集的高端独占技能落地工业化,经过“技能辐射&下行”的方法,面向国内商场供给工业界急需的高端零部件、子体系类产品。华卓精科首要从事半导体制作配备及其要害零部件研制、规划、出产、出售与技能服务。 主营产品包括光刻机双工件台以及衍出产品——超精细运动定位渠道和高功能自动隔振体系,一起研制出产更高技能难度的产品,如IGBT激光快速退火设备、静电卡盘、模块化磁浮运动渠道等高技能产品。 华卓精科官网显现,其出产的光刻机双工件台首要应用于65nm及以下节点的ArF干式、浸没式步进扫描光刻机、KrF步进扫描光刻机,单台系列产品应用于i线、g线步进扫描光刻机及封装光刻机等。华卓精科表明,其出产的光刻机双工件台,打破了ASML公司在光刻机工件台上的技能上的独占,成为世界上第二家把握双工件台中心技能的公司。 依据公司2017年年报,华卓精科首要客户为上海微电子配备(集团)股份有限公司、浙江启尔机电技能有限公司、上海集成电路研制中心有限公司、我国科学院光电研讨院等。 重新三板退市,转战科创板 为了推进公司的本钱化运作,2015年12月11日,华卓精科834733.OC在新三板挂牌上市。 其时的材料显现,自公司树立至2014年12月31日,华卓精科经营收入仅为1106.958932万元,净赢利36.414245万元,公司总资产4347.217138万元,净资产863.952303万元。 近几年,跟着国产半导体工业的快速开展,华卓精科的营收及赢利呈继续快速增加态势。 财报显现,华卓精科2017年经营收入为5410.22万元,较上年同期增加14.8%;归属于挂牌公司股东的净赢利为1230.09万元,较上年同期增加70.17%; 2018年半年报显现,到2018年6月30日,华卓精科完结营收3193.03万元,较上一年同期增加44.53%;归属于挂牌公司股东的净赢利为683.66万元,较上一年同期下滑10.34%。而净赢利削减的首要原因是2018年公司加大研制投入,自主研制开销比上年同期增加374万元,费用化后导致净赢利削减。 因为新三板缺少流动性,一起,跟着更为具吸引力的科创板的方针的出台,华卓精科也开端方案转战科创板。2019年2月13日起,华卓精科停止在新三板挂牌,退市前市值为22.5亿元。 值得注意的是,在新三板退市之前,2018年,华卓精科在10月进行了一轮8700万人民币的战略融资,引入了我国世界金融股份有限公司、红星美凯龙、浑璞出资基金作为股东。11月,红星美凯龙及浑璞出资基金又参加了华卓精科的价值7587.50万元人民币的定向增发。而依据布告,增发征集的7587.50万元资金,首要用于公司半导体配备要害零部件研制制作项目、弥补流动资金、归还银行贷款、购买土地使用权。不过,在外界看来,华卓精科连续的两次融资好像也是在为上科创板做预备。 清华朱煜教授为榜首大股东 依据天眼查显现,作为华卓精科的创始人兼董事——现任清华大学机械系机电所所长朱煜教授现在是华卓精科的控股股东,持股份额为37.77%。 ▲朱煜教授 此外华卓精科第四大股东——北京艾西众创科技开展中心(有限合伙)(职工持股渠道,持股华卓精科5.82%)的榜首大股东也是朱煜,持股15.71%。 此外,在前十大股东傍边,公司董事长吴勇持股2.87%、董事徐登峰持股2.96%、董事张鸣持股3.95%、董事杨开通持股3.47%。 值得注意的是,依据华卓精科2018年的半年报,朱煜与徐登峰、张鸣、杨开通、尹文生、胡金春、穆海华、成荣等 7 位自然人股东一起签署了《共同举动协议》。 也就是说,朱煜实践上或许操控着华卓精科60%以上的股权。 小结: 从以上的介绍,咱们不难看出,华卓精科确真实光刻机双工件台技能上拥有着自己中心的优势。可是,从商场的视点来看,光刻机双工件台的客户首要仍是光刻机整机厂商。而现在近90%的光刻机商场都被ASML所占有,尽管国内也有上海微电子、中电科四十五所、中电科四十八所等厂商和研讨机构进行光刻机的研制,上海微电子还研制出了中端的投影式光刻机,但它们在整个光刻机商场的出货和影响十分的小,这也使得华卓精科尽管看上去营收和赢利增加很快,可是实践的营收和净赢利规划却很小,一年的营收或许还不如ASML一台EUV光刻机的出售额的1/10高。 不过,即便如此,华卓精科在光刻机双工件台技能上的打破,也为我国自主研制65nm 至 28nm 双工件干台式及浸没式光刻机奠定了根底,其战略意义远高于其所带来的营收及赢利。 并且,咱们也应该用开展的眼光来看问题,跟着国产半导体工业开展的加快,国内关于光刻机的需求也在快速增加,依据估计2019、2020 年我国光刻机商场空间约为37.68 亿美元、51.12 亿美元。而在国产代替的大趋势之下,国产光刻机工业有望迎来高速开展。 修改:芯智讯-浪客剑

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